Producten Beschrijving
Planair sputterdoelmateriaal van titaniumis een metalen doelwit dat wordt gebruikt in Physical Vapour Deposition (PVD) -technologie. Het is vervaardigd uit hoog-zuiver titaniummetaal (of titaniumlegeringen) in vlakke plaat- of schijfvormen en is ontworpen voor DC- of RF-sputtertoepassingen. De kernwaarde ligt in het bieden van een hoog smeltpunt, lage dichtheid, uitstekende mechanische sterkte en goede chemische inertie. De afgezette titaniumfilms vertonen een hoge hardheid, corrosieweerstand en sterke hechting, en dienen voor geavanceerde toepassingen in halfgeleiders, beeldschermen, fotovoltaïsche cellen, optische opslag en biomedische velden.
Specificaties van titaniumplaatdoelen
|
Normale maat |
Materiaal |
Samenstelling |
|
12×132×1701 mm |
Ti Gr1 |
99.70% |
|
13×132×1701 mm |
Ti Gr2 |
99.50% |
|
12×170×830mm |
Ti 4N |
99.99% |
|
8×133×410 mm |
Zr702 |
Zr+Hf>99.2% |
|
8×158×1108mm |
Ta1 |
99.95% |
|
10×159×1519 mm |
Nb1 |
99.95% |
|
18×152×635 mm |
2N Cr |
99.50% |
|
20×190×740mm |
3N Cr |
99.90% |
Toepassingen
Halfgeleiders en micro-elektronica:Barrièrelagen, verbindingslagen en geleidende lagen met lage-weerstand voor geïntegreerde schakelingen, die ultra-hoge zuiverheid vereisen Groter dan of gelijk aan 99,995% voor lijnbreedteprocessen van minder dan of gelijk aan 0,18 µm
Flatpanelbeeldschermen (LCD/OLED):Dunne titaniumfilms die als elektroden of barrièrelagen op glassubstraten worden afgezet, waardoor de duurzaamheid van het display en de optische prestaties worden verbeterd
Fotovoltaïsche zonne-energie (dunne-film-zonnecellen):Achterelektroden of anti{0}}reflectielagen om de efficiëntie van de foto-elektrische conversie te verbeteren
Optische opslag en communicatie:Harde beschermlagen of geleidende lagen voor cd-rom's, optische schijven en glasvezelkoppelingen
Oppervlakteverharding en slijtvast-coatings:Ti/TiN-composietlagen op gereedschappen en mallen om de hardheid en corrosieweerstand aanzienlijk te verbeteren
Biomedisch:Oppervlaktemodificatie van implanteerbare apparaten waarbij gebruik wordt gemaakt van de uitstekende biocompatibiliteit van titanium om de osseo-integratie te verbeteren
Productvoordelen
|
Voordeel |
Belangrijkste voordelen |
|
Hoge zuiverheid, lage onzuiverheden |
Zuiverheid Groter dan of gelijk aan 99,99% onderdrukt effectief de opname van zuurstof/stikstof, waardoor optimale elektrische/optische eigenschappen worden gegarandeerd |
|
Hoge dichtheid en uniformiteit |
Vacuum melting and thermomechanical processing achieve >99,5% dichtheid, waardoor onregelmatigheden bij de afvoer door porositeit worden geminimaliseerd |
|
Uitstekende mechanische sterkte |
Buigsterkte Groter dan of gelijk aan 300 MPa (bij een wanddikte groter dan of gelijk aan 5 mm) is bestand tegen centrifugaalkrachten bij hoge- rotatiesnelheid en hoog- sputteren |
|
Goede thermische geleidbaarheid en dissipatie |
Thermische geleidbaarheid 21,9 W·m⁻¹·K⁻¹ maakt 10-15 kW hoog-vermogensafzetting mogelijk met watergekoelde steunplaten |
|
Corrosie en hoge-bestendigheid |
Het hoge smeltpunt (1668 graden) en de passieve oxidelaag van titanium zorgen voor stabiliteit op de lange- termijn in argon/stikstofatmosferen |
|
Verwerkingsflexibiliteit |
Verkrijgbaar in vlakke, ronde, getrapte en aangepaste vormen met een breed formaatbereik voor verschillende apparatuur (magnetronsputteren, lasersputteren, ionenbundelafzetting) |
|
Gestandaardiseerd testen |
Internationale analysemethoden (GDMS, LECO) garanderen naleving van de YS/T 893-2013- en GB/T 4698-normen, waardoor de traceerbaarheid van producten wordt gegarandeerd |
Chemische eigenschappen
Hoofdsamenstelling:Zuiver titanium (Ti) met metallische onzuiverheden (Fe, Cr, Ni, etc.) Minder dan of gelijk aan 10 ppm en gasonzuiverheden (O, N, C, H) Minder dan of gelijk aan 200 ppm, Minder dan of gelijk aan 100 ppm, Minder dan of gelijk aan 50 ppm, Minder dan of gelijk aan respectievelijk 30 ppm (volgens YS/T 892/891-normen)
Oxidatiegedrag: Forms dense TiO₂ passivation layer at room temperature, providing excellent corrosion resistance; maintains good stability at high temperatures (>600 graden)
Substraatcompatibiliteit:Uitstekende hechting op Si, SiO₂, Al₂O₃, GaAs en glassubstraten; De hechtsterkte van het grensvlak kan worden verbeterd door voorverwarmen of oppervlaktereiniging
Mechanische eigenschappen
|
Parameter |
Typische waarde |
Opmerkingen |
|
Dikte |
4,54 g·cm⁻³ |
In overeenstemming met de theoretische waarde |
|
Hardheid |
HV ≈200-250 (afhankelijk van warmtebehandeling) |
Hoge hardheid draagt bij aan slijtvastheid |
|
Buigsterkte |
Groter dan of gelijk aan 300 MPa (wanddikte Groter dan of gelijk aan 5 mm) |
Geschikt voor roterende doelen met hoge-snelheid |
|
Elasticiteitsmodulus |
≈110 GPa |
Zorgt voor een goede mechanische stijfheid |
|
Thermische uitzettingscoëfficiënt |
8,6 × 10⁻⁶ K⁻¹ (20-100 graden) |
Goede compatibiliteit met gangbare substraten |
Selectie- en gebruiksrichtlijnen
Zuiverheidsvereisten:Standaard functionele films (decoratief, algemene bescherming): 99,9%-99,99%; Hoogwaardige halfgeleiders/fotovoltaïsche zonne-energie: groter dan of gelijk aan 99,995% ultrahoge zuiverheid om de invloed van zuurstof/stikstof op de elektrische eigenschappen te minimaliseren
Vermogen en warmteafvoer: High-power (>10 kW) sputteren beveelt vlakke doelen aan met een dikte groter dan of gelijk aan 5 mm en een thermische geleidbaarheid groter dan of gelijk aan 21 W·m⁻¹·K⁻¹, gecombineerd met water-gekoelde steunplaten om plaatselijke oververhitting te voorkomen
Afmetingen & Vormen:Ronde of getrapte doelen voor roterende kathodes; rechthoekige plaatdoelen voor afzetting op grote- oppervlakken (bijv. rol-op- glascoating), aangepast aan de afmetingen van de apparatuurpodium
Oppervlaktebehandeling:Ultrasone reiniging en vacuümverpakking zorgen voor olie-vrije, deeltjes-vrije oppervlakken; inspectie vóór-installatie en licht polijsten aanbevolen om indien nodig de ruwheid te verminderen
FAQ:
Verstrekt u monsters?
A: Ja, we bieden gratis monsters aan, waarbij de verzending door de klant wordt geregeld. Wij raden u aan monsters te testen of proefbestellingen te plaatsen voordat u grotere aankopen doet.
Vraag: Hoe concurrerend zijn uw prijzen?
A: Onze prijzen weerspiegelen uitzonderlijke waarde als we kijken naar de premium kwaliteit en uitgebreide service die we bieden.
Vraag: Wat is de doorlooptijd van uw offerte?
A: Normaal gesproken 24 uur na ontvangst van het onderzoek. Dringende verzoeken worden na kennisgeving met voorrang behandeld.
Vraag: Hoe vraag ik aangepaste producten aan?
A: Deel alstublieft uw tekeningen, afbeeldingen of monsters. We zullen de specificaties bevestigen en onmiddellijk de productie starten.
Contact:
Over STRX Titanium – Waarom voor ons kiezen?
Premium materialen:We selecteren hoogwaardige grondstoffen om de kwaliteitscontrole vanaf de bron te garanderen.
Strenge kwaliteitscontrole:Er worden strenge kwaliteitsinspectienormen geïmplementeerd om 100% naleving van de eisen van de klant te garanderen.
Aangepaste oplossingen:Wij begrijpen dat elke branche unieke behoeften heeft. Ons team werkt nauw samen met klanten om producten op maat te maken op basis van specifieke vereisten. We passen alle titaniumproducten (kleur/grootte, enz.) aan volgens klanttekeningen of ideeën.
Snelle levering:Geavanceerd productiebeheer zorgt voor een efficiënte en snelle levering, van productie tot verzending.
Deskundige ondersteuning:Krijg inzichten van ons toegewijde team van experts, dat professioneel advies en praktische hulp biedt. STRX Titanium helpt u bij het identificeren en selecteren van de beste oplossingen die zijn afgestemd op uw zakelijke behoeften, waardoor optimale resultaten en tevredenheid worden gegarandeerd.
STRX Titanium heeft consistente lof gekregen van klanten vanwege de hoge- kwaliteitsproducten en concurrerende prijzen. Met strikte kwaliteitscontrole en professionele technische ondersteuning kijken wij ernaar uit om met u samen te werken!
Samenvattend is STRX Titanium een toonaangevende fabrikant en leverancier van titaniumproducten in China. We onderhouden sterke technische partnerschappen met grote binnenlandse en internationale fabrikanten van apparatuur en handhaven strenge kwaliteitsnormen om aan de eisen van de klant te voldoen.
Als u op zoek bent naar een betrouwbare leverancier van titaniumproducten, neem dan onmiddellijk contact met ons op voor meer informatie over onze producten en diensten.
E-mail:info@strx-titanium.com
Populaire tags: titanium planair sputterdoelmateriaal, China titanium planair sputterdoelmateriaal fabrikanten, leveranciers, fabriek

